羅茨真空泵是由羅茨鼓風機演變而來。羅茨鼓風機在吸入口為正常大氣壓的情況下,將氣體加壓成0.1~2kg/cm出口壓強,作為冶煉工業(yè)等的鼓風使用。羅茨真空泵在結(jié)構(gòu)和原理上都與羅茨鼓風機相似,故沿用了相同的名稱。
二十世紀中葉.由于真空技術(shù)的發(fā)展,尤其是由于真空冶煉高級合金的需要,要求在冶煉真空系統(tǒng)中,解決在真空度為1?10負二次方Torr工作時具有大抽速的新型其空設(shè)備。同時,適宜低真空工作的油封機械真空泵和適宜高真空工作的油擴散泵。都不能很好地擔負這一任務。因為油封機械真空泵在1-10負二次方Toor時,抽速嚴重下降,工作效率很低,如勉強使之承擔大抽速,需要多臺并聯(lián)工作,必然造成很大浪費。至于高真空適用的油擴散泵,在這樣的入口壓強下尚不能工作。所以,在這種情況下必須設(shè)計出抽速大,效率高的新型真空泵。
1944年在徳國出現(xiàn)的羅茨真空泵,就是為適應這一需要而誕生的產(chǎn)品。1974年成功地將羅茨泵用于真空冶煉,以后發(fā)展頗為迅速。我國從1960年開始設(shè)計和試制這種泵,二十多年來已有相當發(fā)展,應用較為普遍,泵的產(chǎn)量和質(zhì)量都在不斷提高,在我國真空工業(yè)中這種泵常稱為機械增壓泵。
現(xiàn)在,羅茨真空泵的應用范圍越來越廣,幾乎在各種需要大抽速的真空泵系統(tǒng)中都得到應用。國內(nèi)外真空技術(shù)工作者對羅茨真空泵的理論和應用研究,也在不斷地深入。在轉(zhuǎn)子型線理論上發(fā)展了圓弧型線、擺線型線和漸開線型線。
在可靠性方面,羅茨真空泵上附設(shè)自動調(diào)壓旁通閥,用于控制出入口間的壓差,發(fā)展了液力聯(lián)軸器驅(qū)動。為實現(xiàn)按負荷無級調(diào)速,發(fā)展了真空繼電器控制自動啟閉,它能在泵出入口壓差上升負荷增大時,自動保護羅茨真空泵不至因過載而損壞。在配套機組方面,發(fā)展了羅茨真空泵與水環(huán)真空泵、旋片真空泵、分子泵等各類真空獲得設(shè)備的配套機組,還發(fā)展了雙級串聯(lián)羅茨真空泵,并逐漸擴大應用范圍,充分發(fā)揮了羅茨真空泵的優(yōu)越性。HdfJ11.c OM
除作為機械增壓泵用于在前級預真空泵的配合條件下工作外,還發(fā)展了直排大氣的羅茨真空泵,開辟了單機使用羅茨真空泵的新路子。利用附加的水封或油封裝置,使之不用前級真空泵,通過水封或油封即可向大氣排氣,以單機作為粗真空,大抽速真空泵使用,代替?zhèn)鹘y(tǒng)的水環(huán)真空泵、旋片真空泵等,取得了提高效率、節(jié)約能源的良好效果,并在工業(yè)技術(shù)中,正逐步擴大其應用范圍。
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