羅茨真空泵是由羅茨鼓風(fēng)機(jī)演變而來(lái)。羅茨鼓風(fēng)機(jī)在吸入口為正常大氣壓的情況下，將氣體加壓成0.1~2kg/cm出口壓強(qiáng)，作為冶煉工業(yè)等的鼓風(fēng)使用。羅茨真空泵在結(jié)構(gòu)和原理上都與羅茨鼓風(fēng)機(jī)相似，故沿用了相同的名稱。

二十世紀(jì)中葉.由于真空技術(shù)的發(fā)展，尤其是由于真空冶煉高級(jí)合金的需要，要求在冶煉真空系統(tǒng)中，解決在真空度為1?10負(fù)二次方Torr工作時(shí)具有大抽速的新型其空設(shè)備。同時(shí)，適宜低真空工作的油封機(jī)械真空泵和適宜高真空工作的油擴(kuò)散泵。都不能很好地?fù)?dān)負(fù)這一任務(wù)。因?yàn)橛头鈾C(jī)械真空泵在1-10負(fù)二次方Toor時(shí)，抽速嚴(yán)重下降，工作效率很低，如勉強(qiáng)使之承擔(dān)大抽速，需要多臺(tái)并聯(lián)工作，必然造成很大浪費(fèi)。至于高真空適用的油擴(kuò)散泵，在這樣的入口壓強(qiáng)下尚不能工作。所以，在這種情況下必須設(shè)計(jì)出抽速大，效率高的新型真空泵。

1944年在徳國(guó)出現(xiàn)的羅茨真空泵，就是為適應(yīng)這一需要而誕生的產(chǎn)品。1974年成功地將羅茨泵用于真空冶煉，以后發(fā)展頗為迅速。我國(guó)從1960年開(kāi)始設(shè)計(jì)和試制這種泵，二十多年來(lái)已有相當(dāng)發(fā)展，應(yīng)用較為普遍，泵的產(chǎn)量和質(zhì)量都在不斷提高，在我國(guó)真空工業(yè)中這種泵常稱為機(jī)械增壓泵。

現(xiàn)在，羅茨真空泵的應(yīng)用范圍越來(lái)越廣，幾乎在各種需要大抽速的真空泵系統(tǒng)中都得到應(yīng)用。國(guó)內(nèi)外真空技術(shù)工作者對(duì)羅茨真空泵的理論和應(yīng)用研究，也在不斷地深入。在轉(zhuǎn)子型線理論上發(fā)展了圓弧型線、擺線型線和漸開(kāi)線型線。

在可靠性方面，羅茨真空泵上附設(shè)自動(dòng)調(diào)壓旁通閥，用于控制出入口間的壓差，發(fā)展了液力聯(lián)軸器驅(qū)動(dòng)。為實(shí)現(xiàn)按負(fù)荷無(wú)級(jí)調(diào)速，發(fā)展了真空繼電器控制自動(dòng)啟閉，它能在泵出入口壓差上升負(fù)荷增大時(shí)，自動(dòng)保護(hù)羅茨真空泵不至因過(guò)載而損壞。在配套機(jī)組方面，發(fā)展了羅茨真空泵與水環(huán)真空泵、旋片真空泵、分子泵等各類真空獲得設(shè)備的配套機(jī)組，還發(fā)展了雙級(jí)串聯(lián)羅茨真空泵，并逐漸擴(kuò)大應(yīng)用范圍，充分發(fā)揮了羅茨真空泵的優(yōu)越性。HdfJ11.c OM

除作為機(jī)械增壓泵用于在前級(jí)預(yù)真空泵的配合條件下工作外，還發(fā)展了直排大氣的羅茨真空泵，開(kāi)辟了單機(jī)使用羅茨真空泵的新路子。利用附加的水封或油封裝置，使之不用前級(jí)真空泵，通過(guò)水封或油封即可向大氣排氣，以單機(jī)作為粗真空，大抽速真空泵使用，代替?zhèn)鹘y(tǒng)的水環(huán)真空泵、旋片真空泵等，取得了提高效率、節(jié)約能源的良好效果，并在工業(yè)技術(shù)中，正逐步擴(kuò)大其應(yīng)用范圍。

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